東莞真空鍍膜儀

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真空鍍膜:離子鍍:離子鍍基本原理是東莞鍍膜在真空條件下,采用某種等離子體電離技術,真空使鍍料原子部分電離成離子,東莞鍍膜同時産生許多高能量的真空中性原子,在被鍍基體上加負偏壓。東莞鍍膜這樣在深度負偏壓的真空作用下,離子沉積于基體表面形成薄膜。東莞鍍膜離子鍍借助于惰性氣體輝光放電,真空使鍍料(如金屬钛)氣化蒸發離子化,東莞鍍膜離子經電場加速,真空以較高能量轟擊工件表面,東莞鍍膜此時如通入二氧化碳、真空氮氣等反應氣體,東莞鍍膜便可在工件表面獲得TiC、真空TiN覆蓋層,東莞鍍膜硬度高達2000HV。離子鍍技術較早在1963年由D。M。Mattox提出。1972年,Bunshah&Juntz推出活性反應蒸發離子鍍(AREIP),該方法可以沉積TiN、TiC等超硬膜。1972年Moley&Smith發展完善了空心熱陰極離子鍍,1973年又發展出射頻離子鍍(RFIP)。20世紀80年代又發展出磁控濺射離子鍍(MSIP)和多弧離子鍍(MAIP)。離子鍍是物理的氣相沉積方法中應用較普遍的一種鍍膜工藝。真空鍍膜是真空應用領域的一個重要方面。東莞真空鍍膜儀

東莞真空鍍膜儀,真空鍍膜

離子輔助鍍膜是在真空熱蒸發基礎上發展起來的一種輔助鍍膜方法。當膜料蒸發時,澱積分子在基闆表面不斷受到來自離子源的荷能離子的轟擊,通過動量轉移,使澱積粒子獲得較大動能,提高了澱積粒子的遷移率,從而使膜層聚集密度增加,使得薄膜生長發生了根本變化,使薄膜性能得到了改善。常用的離子源有克夫曼離子源、霍爾離子源。霍爾離子源是近年發展起來的一種低能離子源。這種源沒有栅極,陰極在陽極上方發出熱電子,在磁場作用下提高了電子碰撞工作氣體的幾率,從而提高了電離效率。正離子因陰極與陽極間的電位差而被引出。離子能量一般很低(50-150eV),但離子流密度較高,發散角大,維護容易。海口PVD真空鍍膜真空鍍膜中離子鍍的鍍層無小孔。

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所謂的原子層沉積技術,是指通過将氣相前驅體交替脈沖通入反應室并在沉積基體表面發生氣固相化學吸附反應形成薄膜的一種方法。原子層沉積(ALD)是一種在氣相中使用連續化學反應的薄膜形成技術。化學氣相沉積:1個是分類的(CVD的化學氣相沉積)。在許多情況下,ALD是使用兩種稱為前體的化學物質執行的。每種前體以連續和自我控制的方式與物體表面反應。通過依次重複對每個前體的曝光來逐漸形成薄膜。ALD是半導體器件制造中的重要過程,部分設備也可用于納米材料合成。

真空鍍膜:電阻加熱蒸發法:電阻加熱蒸發法就是采用鎢、钼等高熔點金屬,做成适當形狀的蒸發源,其上裝入待蒸發材料,讓電流通過,對蒸發材料進行直接加熱蒸發,或者把待蒸發材料放入坩鍋中進行間接加熱蒸發。利用電阻加熱器加熱蒸發的鍍膜設備構造簡單、造價便宜、使用可靠,可用于熔點不太高的材料的蒸發鍍膜,尤其适用于對膜層質量要求不太高的大批量的生産中。目前在鍍鋁制品的生産中仍然大量使用着電阻加熱蒸發的工藝。電阻加熱方式的缺點是:加熱所能達到的較高溫度有限,加熱器的壽命也較短。近年來,為了提高加熱器的壽命,國内外已采用壽命較長的氮化硼合成的導電陶瓷材料作為加熱器。各種真空鍍膜技術都需要有一個蒸發源或靶子。

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真空鍍膜:離子鍍膜法:目前比較常用的組合方式有:直流二極型(DCIP)。利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;被鍍基體作為陰極,利用高電壓直流輝光放電将充入的氣體氩(Ar)(也可充少量反應氣體)離化。這種方法的特點是:基闆溫升大、繞射性好、附着性好,膜結構及形貌差,若用電子束加熱必須用差壓闆;可用于鍍耐腐蝕潤滑機械制品。多陰極型。利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠熱電子、陰極發射的電子及輝光放電使充入的真空惰性氣體或反應氣體離化。這種方法的特點是:基闆溫升小,有時需要對基闆加熱;可用于鍍精密機械制品、電子器件裝飾品。真空鍍膜過程可以實現連續化。蚌埠新型真空鍍膜

真空鍍膜技術被譽為較具發展前途的重要技術之一,并已在高技術産業化的發展中展現出誘人的市場前景。東莞真空鍍膜儀

真空鍍膜的物理過程:PVD(物理的氣相沉積技術)的基本原理可分為三個工藝步驟:(1)金屬顆粒的氣化:即鍍料的蒸發、升華或被濺射從而形成氣化源(2)鍍料粒子((原子、分子或離子)的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經過碰撞,産生多種反應。(3)鍍料粒子在基片表面的沉積。熱蒸發主要是三個過程:1.蒸發材料從固态轉化為氣态的過程。2.氣化原子或分子在蒸發源與基底之間的運輸 3.蒸發原子或分子在襯底表面上澱積過程,即是蒸汽凝聚、成核、核生長、形成連續薄膜的過程。東莞真空鍍膜儀

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