郴州高采樣速率膜厚儀
幹涉法與分光光度法都是利用相幹光形成等厚幹涉條紋的原理來确定薄膜厚度和折射率，然而與薄膜自發産生的等傾幹涉不同，幹涉法是通過設置參考光路，形成與測量光路間的幹涉條紋，因此其相位信息包含兩個部分，分别是由參考平面和測量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜内部多次反射引起的膜厚相位。幹涉法測量光路使用面陣CCD接收參考平面和測量平面間相幹波面的幹涉光強分布，不同于以上三種點測量方式，可一次性生成薄膜待測區域的表面形貌信息，但同時由于存在大量軸向掃描和數據解算，完成單次測量的時間相對較長。白光幹涉膜厚測量技術的研究需要對光學理論和光學儀器有較深入的了解。郴州高采樣速率膜厚儀
光纖白光幹涉測量使用的是寬譜光源。光源的輸出光功率和中心波長的穩定性是光源選取時需要重點考慮的參數。論文所設計的解調系統是通過檢測幹涉峰值的中心波長的移動實現的，所以光源中心波長的穩定性将對實驗結果産生很大的影響。實驗中我們所選用的光源是由INPHENIX公司生産的SLED光源，相對于一般的寬帶光源具有輸出功率高、覆蓋光譜範圍寬等特點。該光源采用+5V的直流供電，标定中心波長為1550nm，且其輸出功率在一定範圍内是可調的，驅動電流可以達到600mA。南京膜厚儀産品基本性能要求白光幹涉膜厚測量技術可以通過對幹涉圖像的分析實現對薄膜的缺陷檢測和分析。
為了分析白光反射光譜的測量範圍，開展了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測量實驗。圖是不同殼層厚度靶丸的白光反射光譜測量曲線，如圖所示，對于殼層厚度30μm的靶丸，其白光反射光譜各譜峰非常密集、幹涉級次數值大；此外，由于靶丸殼層的吸收，壁厚較大的靶丸信号強度相對較弱。随着靶丸殼層厚度的進一步增加，其白光反射光譜各譜峰将更加密集，難以實現對各幹涉譜峰波長的測量。為實現較大厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量，需采用紅外的寬譜光源和光譜探測器。對于殼層厚度為μm的靶丸，測量的波峰相對較少，容易實現靶丸殼層白光反射光譜譜峰波長的準确測量；随着靶丸殼層厚度的進一步減小，兩幹涉信号之間的光程差差異非常小，以至于他們的光譜信号中隻有一個幹涉波峰，基于峰值探測的白光反射光譜方法難以實現其厚度的測量；為實現較小厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量，可采用紫外的寬譜光源和光譜探測器提升其探測厚度下限。
自1986年E.Wolf證明了相關誘導光譜的變化以來，人們在理論和實驗上展開了讨論和研究。結果表明，動态的光譜位移可以産生新的濾波器，應用于光學信号處理和加密領域。在論文中，我們提出的基于白光幹涉光譜單峰值波長移動的解調方案，可以用于當光程差非常小導緻其幹涉光譜隻有一個幹涉峰時的信号解調，實現納米薄膜厚度測量。在頻域幹涉中，當幹涉光程差超過光源相幹長度的時候，仍然可以觀察到幹涉條紋。出現這種現象的原因是白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加，每一列單色光的相幹長度都是無限的。當我們使用光譜儀來接收幹涉光譜時，由于光譜儀光栅的分光作用，将寬光譜的白光變成了窄帶光譜，從而使相幹長度發生變化。白光幹涉膜厚測量技術可以應用于生物醫學中的薄膜生物學特性分析。
與激光光源相比以白光的寬光譜光源由于具有短相幹長度的特點使得兩光束隻有在光程差極小的情況下才能發生幹涉因此不會産生幹擾條紋。同時由于白光幹涉産生的幹涉條紋具有明顯的零光程差位置避免了幹涉級次不确定的問題。本文以白光幹涉原理為理論基礎對單層透明薄膜厚度測量尤其對厚度小于光源相幹長度的薄膜厚度測量進行了研究。首先從白光幹涉測量薄膜厚度的原理出發、分别詳細闡述了白光幹涉原理和薄膜測厚原理。接着在金相顯微鏡的基礎上構建了型垂直白光掃描系統作為實驗中測試薄膜厚度的儀器并利用白光幹涉原理對的位移量進行了标定。白光幹涉膜厚測量技術可以應用于材料科學中的薄膜微結構分析。青島膜厚儀設備生産
白光幹涉膜厚測量技術可以應用于不同材料的薄膜的研究和制造中。郴州高采樣速率膜厚儀
幹涉測量法[9-10]是基于光的幹涉原理實現對薄膜厚度測量的光學方法，是一種高精度的測量技術。采用光學幹涉原理的測量系統一般具有結構簡單，成本低廉，穩定性好，抗幹擾能力強，使用範圍廣等優點。對于大多數的幹涉測量任務，都是通過薄膜表面和基底表面之間産生的幹涉條紋的形狀和分布規律，來研究幹涉裝置中待測物理量引入的光程差或者是位相差的變化，從而達到測量目的。光學幹涉測量方法的測量精度可達到甚至優于納米量級，而利用外差幹涉進行測量，其精度甚至可以達到10-3nm量級[11]。根據所使用光源的不同，幹涉測量方法又可以分為激光幹涉測量和白光幹涉測量兩大類。激光幹涉測量的分辨率更高，但是不能實現對靜态信号的測量，隻能測量輸出信号的變化量或者是連續信号的變化，即隻能實現相對測量。而白光幹涉是通過對幹涉信号中心條紋的有效識别來實現對物理量的測量，是一種測量方式，在薄膜厚度的測量中得到了廣泛的應用。郴州高采樣速率膜厚儀
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